集成電路電子級超純水系統(tǒng)

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更新時間：2024-10-16

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ICM工程純水系統(tǒng)

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系統(tǒng)概述

駭思HyperPureX ICM-E系列集成電路電子級超純水系統(tǒng)以嚴謹?shù)暮弦?guī)性指導系統(tǒng)的設(shè)計、制造、安裝和驗證的全過程，以模塊化的設(shè)計集成了多介質(zhì)過濾、活性炭吸附、軟化、二級RO^2nd、脫氣、EDI、超濾、紫外殺菌和TOC降解、樹脂超純化、以及終端微濾各純化單元，廣泛應(yīng)用于半導體晶圓及液晶屏清洗、芯片等各種精密電子元器件的加工和制造。

水質(zhì)標準

GB/T 11446.1-2013、GB/T 33087-2016、ASTM D1193-06等規(guī)定的水質(zhì)標準

工藝路徑

1. 預(yù)處理系統(tǒng)+二級反滲透RO^2nd系統(tǒng)+脫氣系統(tǒng)+EDI系統(tǒng)+超純化系統(tǒng)+儲存分配系統(tǒng)

性能特點

10“彩色觸控屏及 PLC控制模塊且具有物聯(lián)網(wǎng)（IOT）和云平臺功能的全自動控制系統(tǒng)；

模塊化設(shè)計理念，結(jié)構(gòu)緊湊，便于操作及后期維護；

整套設(shè)備可以排空設(shè)計；

可根據(jù)客戶原水水質(zhì)優(yōu)化調(diào)整工藝路線；

系統(tǒng)內(nèi)部部分濃水可回收，可提高系統(tǒng)回收率至80%以上；

確保過程檢驗、質(zhì)量監(jiān)控、驗證文件符合用戶需求；

應(yīng)用范圍

液晶面板制作、半導體晶圓、芯片等各種精密電子元器件行業(yè)的加工和制造

駭思®HyperpureX® 純水系統(tǒng)，只為給您超越期待的產(chǎn)品和服務(wù)

在ISO9001和ISO14001體系下，遵循CE質(zhì)量標準進行產(chǎn)品的設(shè)計、開發(fā)和制造，確保品質(zhì)的穩(wěn)定可靠
為幫助您滿足行業(yè)規(guī)范要求，我們可以應(yīng)要求協(xié)助提供合格證書、校準證書、質(zhì)量證書、性能報告、水質(zhì)合規(guī)證書等證明文件